@article{oai:sasebo.repo.nii.ac.jp:00000797, journal = {佐世保工業高等専門学校研究報告, RESEARCH REPORTS OF NATIONAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY,SASEBO COLLEGE}, month = {Jan}, note = {4, KJ00005075794}, pages = {15--20}, title = {精密テーブルの運動性能に及ぼすサーボモータのセンサ特性(第1報) -加工表面への影響-}, volume = {45}, year = {2009} }